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槽式碱抛自动化上下料机
产品说明：

槽式碱抛自动化是一款将硅片从料盒中自动装载至花篮中，搬运到槽式工艺机中并在工艺后取出花篮的设备。

设备特性：

1. 实时监控料位，杜绝料位不稳导致的带片、搭片

2. 料盒顶升，独立顶升伺服，保证物料不均衡时的设备稳定产出

3. NG剔除彻底，没有碎片卡住轨道或进入花篮

4. 硅片入花篮位置整齐度可做到±1mm，入底齿且无崩边

5. 机器人抓取花篮进行装卸压杆，伺服电机控制压杆升降

 

产品参数：
参数 参数值
产能 32000 半片 / 小时
碎片率 ≤0.01%
EL不良 0%
正常运行时间 98.5%